近几十年，随着太赫兹源和探测技术的迅速发展，太赫兹波越来越受到人们的青睐。发展太赫兹传输器件也成为当务之急，太赫兹调制器便是其中一种。超表面作为一种人工电磁材料，由于其独特的光学性能，为电磁波调控提供了潜在的可能性，因此对功能器件的发展起着重要的作用。

为此，武汉光电国家实验室激光与太赫兹功能实验室博士生季洁等人在姚建铨教授、凌福日副教授的指导下，提出了一种基于硅基等离子超表面的多功能太赫兹调制器。实验中，借助于太赫兹时域光谱技术，分析了硅基等离子超表面在波长为1064 nm的激光照射下，对太赫兹波幅度、相位以及谐振频率的调制。研究发现，当激光器功率达到400 mW时，该太赫兹调制器幅度调制度达到34.01%，相位调制深度达到31.33%，且谐振频率发生蓝移现象。

2019年2月4日，OSA旗下期刊Optics Express在线刊发了题为Active multifunctional terahertz modulator based on plasmonic metasurface 的研究成果 (Vol. 27, No.3, pp. 2363-2373 (2019))。该研究获得了国家自然基金重点项目（No.61735010， No.61675147）和国家重点研发计划（No.2017YFA0700202）支持。

图. 在波长为1064 nm激光的辐照下，硅基等离子体超表面在不同辐照功率下对太赫兹波的幅度、相位以及谐振频率的调制