2023年6月14日，湖北省科技厅在武汉召开了由张新亮教授牵头的湖北省技术创新专项（重大项目）“微纳工艺与表征平台建设”项目（以下简称“项目”）验收评审会，组织有关专家对项目进行了验收评议。华中大副校长高亮、校科学技术发展院副院长万青云、武汉光电国家研究中心党委书记张涛参加会议，会议由湖北省科技厅基础研究处处长王锦举主持。

与会人员合影

中国科学院半导体研究所李明研究员担任专家组组长，西安电子科技大学韩根全教授，上海交通大学程秀兰研究员，武汉大学郑国兴教授，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所时文华正高级工程师，中国地质大学（武汉）黄田野教授，湖北开元会计师事务有限公司总经理李先亮注册会计师担任专家组成员。

在项目现场考察阶段，微纳工艺与表征平台主任黄庆忠陪同专家组及省科技厅领导考察了微纳工艺与表征平台建设成果，专家给予一致好评。

专家现场考察

现场考察后进行项目执行汇报。王锦举介绍与会专家和领导，并代表湖北省科技厅提出验收会要求。高亮代表学校向莅临会议的各位领导、专家表示热烈欢迎和衷心感谢。武汉光电国家研究中心副主任王健教授就项目执行情况作整体汇报。他从项目背景、任务目标、完成情况、成果与应用情况等方面进行了详细报告，着重介绍了微纳工艺与表征平台的建设情况及研究成果。通过补齐光电子器件全链条制备所需的关键工艺设备，实现了硅光核心器件与集成芯片的制备、验证与工艺标准化。

高亮副校长致辞

王健副主任汇报项目执行情况

专家组听取了项目汇报后，通过查阅项目资料、质询问答，进一步审议项目进展，讨论后一致认为：微纳工艺与表征平台在现有硬件设备和工艺能力的基础上，建设完成以硅基光互连为代表的硅基光电子器件工艺线，具备硅基光电子器件全链条加工制备与测试验证能力。符合验收要求，一致同意该项目通过验收。

专家评审

省科技厅科技监督与诚信建设处处长傅丽枫，省科技厅基础研究处二级调研员郭嵩，我校科学技术发展院基地办主任刘爽，武汉光电国家研究中心相关教职工参会。