近日，湖北省科技厅公布了2022年度省科技创新券服务机构入库第一批名单，华中科技大学武汉光电国家研究中心成功入选。

公示文件

微纳工艺与表征平台是武汉光电国家研究中心大型公共服务平台，使用总面积约1500平方米，拥有近百台（套）半导体工艺设备及测试设备，设备总资产近1.5亿，面向全国社会机构、大学和企业开放，可开展光电子器件、半导体器件制作、中试及检测工作。

光刻工艺间

测试区

微纳工艺与表征平台现已依托湖北省科技厅科技创新平台，发布各类工艺开发设计、微纳加工、委托实验及技术培训等服务十余项。省内企业用户可在湖北省科技厅科技创新平台领取服务券来开展合作，武汉光电国家研究中心将聚焦用户需求，竭诚做好每一次服务！

操作等离子体蚀刻机

开展电子束曝光实验

技术培训

据悉，湖北省科技创新券旨在充分发挥科技创新在推动企业发展中的支撑作用，以创新财政资金在科技领域的投入使用方式，助力企业纾困解难。科技创新券是通过财政资金后补助方式，支持科技型企业向科技服务机构购买相应科技创新服务的财政补贴凭证。2022年科技创新券补助资金计划安排1亿元的规模，按企业购买服务实际发生金额的30%给予补贴，当年每个企业兑付总额不超过20万元。

微纳工艺与表征平台服务预约链接：

http://wnpt.wnlo.hust.edu.cn/

省科技厅科技创新券领取主页：

https://cxq.hbstd.gov.cn/