华中科技大学新闻网讯 2022年12月28日，省科技厅党组书记、厅长冯艳飞，二级巡视员王东梅、高新处处长陈俊一行来校调研光刻机领域技术攻关情况。副校长解孝林参加调研。

冯艳飞一行先后走访了我校超稳定微环境控制、先进光刻与纳米测量、高端装备动力学设计与控制、液滴锡靶激光等离子体光刻光源、脉冲CO2激光种子源等部分实验室。机械学院陈学东、李小平、刘世元，武汉光电国家研究中心陆培祥、甘棕松，光电信息学院秦应雄等教授介绍了光刻机工作原理、国内外发展情况，我省现有研发基础等情况，对下步持续推进光刻机技术研发提出了意见建议。

调研中，冯艳飞详细了解我校光刻机关键零部件产品研发、产学研合作、人才队伍建设等情况，对我校高度重视和积极推动光刻机国产化相关技术攻关工作表示肯定。他指出，科技创新是谋在长远、干在当下、赢在未来的战略之举，要深入贯彻习近平总书记关于科技创新重要论述和考察湖北重要讲话精神，按照省第十二次党代会和全省科技创新大会部署，要切实提高光刻机研发能力，争取产出战略性、关键性重大科技成果，有效支撑我省集成电路产业高质量发展。

科发院、机械学院、武汉光电国家研究中心、光电信息学院等单位负责人参加调研。

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